余沛慈副教授於1996年畢業於交通大學電子物理學系；1998年在同校光電工程研究所獲得碩士學位；1999年前往美國密西根大學深造，2004年取得電機工程博士學位，專研光子晶體微腔型光源的物理機制和單晶片光子晶體積體電路。 

2004至2006年任職於美國英特爾公司，在前瞻性設計部門擔任工程師，研究微影增益技術的演算法，對於CMOS 45和32奈米微影製程的解析度增益技術，累積有豐富的經驗和開發能力。 

2006年返國任教於交通大學光電工程學系擔任助理教授，2009年升等為副教授，成立綠能光電實驗室，投入奈米結構材料應用於發光二極體和太陽能電池的製程與設計。自2006年至今共發表超過 20 篇SCI期刊論文，其中有3 篇論文被選入國際知名期刊Virtual Journal of Nanoscale Science & Technology。另有超過60篇論文發表於國內與國際的學術會議，並有4項專利正在申請中。遴選委員會讚賞她將奈米材料應用於光電元件上的成就，稱譽她為國內最有潛力的青年女性科學家之一。